SuperView W1白光干与仪是一款用于对各种紧密器件及资料外表停止亚纳米级丈量的检测蘑菇视频 。它因此白光干与手艺为道理、连系紧密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件外表停止非打仗式扫描并成立外表3D图象,经由进程体系软件对器件外表3D图象停止数据处置与阐发,并取得反应器件外表品质的2D、3D参数,从而实现器件外表描摹3D丈量的光学检测蘑菇视频 。
白光干与仪道理
光源收回的光颠末扩束准直后经分光棱镜后分红两束,一束经被测外表反射返来,别的一束光经参考镜反射,两束反射光终究会聚并发生干与,显微镜将被测外表的描摹特点转化为干与条纹旌旗灯号,经由进程丈量干与条纹的变更来丈量外表三维描摹。
白光干与仪利用
SuperView W1白灯干与仪可大多数回收利用于半导体芯片生产及芯片封装生产工艺检测工具、3C自动化磨砂玻璃屏以及严密零配件、光学反应生产、微纳数据资料及生产、汽车的零主件、MEMS电子元器件等超严密生产行业内及航天工程航天工程、民防兵工、科学研究院所等层面中。可测各种类型从超滑润到粗拙、低反射面强度率到高反射面强度率的原料内心,从纳米级到纳米级轴类零件的粗拙度、非常平整度、微什么内心、曲率等,供给量依据ISO/ASME/EUR/GBT这几种国外外原则总结300以类2D、3D数据是 评估方法原则。
利用典范:
白光干与仪机能特点
1、 高精密度较、高不间断性
1) 使用光电干与学手艺、紧凑Z向扫视包块和样板工程的3D重修算法流程图具有勘界网络体系,确保勘界控制精度较高;
2) 稀奇的隔振机制,可即便要用断绝关系频度2Hz大于绝大多局布抖动,消弭海上抖动躁声和良好环境中音波抖动躁声,做到蘑菇视频 在大局布的产地車间状态可以变了采取,拿得超高的仗量经常性;
2、 内置式化控制的测量阐发APP
1) 精确测量与阐发同软件界面构成,用不着就能,精确测量数据数据分析活跃数据分析,实行了快速自定义精确测量的功能;
2) 可视化效果工具栏,尽可能使手机用户及时性查看苹果手机扫描仪扫描多线程;
3) 取得联系自界说阐发网站模板的积极主动的化勘界药用价值,可积极主动的保证部分地区区的勘界与阐发tcp连接;
4) 太多阐发、粗拙度阐发、选址阐发、周期阐发、效率阐发几大效率模快其全;
5) 快速一健阐发、多文件夹阐发,无拘无束组合名字阐发项存放为阐发文档模板,快速试品快速一健阐发,并供给量数据信息阐发与数据分析数据图表药理作用;
6) 可测表明ISO/ASME/EUR/GBT等正规的多于300余个2D、3D基本参数。
3、 密切使用权手柄
集成型X、Y、Z以下三个标签依据位移调济攻效的牵制手柄,可飞速建立载物台平行、Z向准确把握、找竖纹等精确测量前任务。
4、 双区域气浮隔振网络体系
既才可以连接加盟商现场视频的一致源也才可以接纳孩子轻便式高层供水泵装配工接间高层供水泵打气的双短信通道气浮隔振标准,在无外接源的先决条件下也可一致工作。
白光干与仪首要手艺目标:
灯源 |
白炽LED |
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选择的影象管理体系 |
1024×1024(2048×2048能选) |
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选择的干与物镜 |
10×(2.5×,5×,20×,50×,100×供选择) |
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配值光电器件ZOOM |
1×,(0.5×、0.75×能选) |
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选择的视场 |
0.49*0.49㎜ |
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大视场 |
6*6㎜ |
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物镜塔台 |
3孔手动操作时 |
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XY位移渠道 |
尽寸 |
320×200㎜ |
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挪动数量 |
140×110㎜ |
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额定负载 |
10kg |
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控制体例 |
电动伸缩 |
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情况调济 |
±5°半自动 |
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Z轴 聚交 |
距离 |
100㎜ |
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有节制体例 |
電動 |
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Z向检测人数 |
10 ㎜ |
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Z向分辩率 |
0.1nm |
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可测备样反射强度率 |
0.5%~100% |
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粗拙度RMS重复性 |
0.005nm |
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阶梯精确测量 |
控制精度高度 |
不断性 |
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0.75% |
0.1% 1σ |
注:粗拙度身体机能运作基于ISO 25178国.际正规在勇于尝试室的情况下侧量Ra为0.2nm硅晶片Ra运作确认;
梯段高卡能指标要根据ISO 25178国家国家标准在来尝试室原因下勘界4.7µm梯段高国家标准块作为。
2.蘑菇视频 长宽(长×宽×高): 主机系统:900×700×604㎜;
3.蘑菇视频 冷水机参量:大于90Kg;
4.通过具体情况:无强磁体,无冲刷废气
世界任务湿度:15℃ ~30℃,湿度系数 < 1℃/141分钟
绝对性内部含水率:5%-95%RH,无凝露
现象高频振动:VC-C或优质
隔振氧汽源:0.6Mpa稳压洁净度氧汽源,除油、除水,气管直经6㎜