蘑菇视频

Bump Metrology system—BOKI_1000

2023-08-11

在半导体芯片业中,Bump、RDL、TSV、Wafer合称全面发展老前辈封装形式的四各种因素,此中Bump起着软件界面智能互联系统和热应力抗震的度化。

Bump也是种合金金属凸点,从倒装焊FlipChip显示就起头涉及根据,Bump的外观设计有种,最稀有的为球状和柱状体,也存在颗粒状等同样外观设计,该图如图为各项实例的Bump。

 

Bump起着网页区间内的不间断智能互联和扯力减慢的影响,从Bondwire方法我的的生长到FlipChip方法的进度中,Bump起到了了相当于最主要的的影响。紧跟着方法手艺人的我的的生长,Bump的长宽高也变得越来越更加小,从最好 Standard FlipChip的100um我的的生长到或许超小的5um。

伴带着工艺设备手艺人的绕城高速成长的,对Bump的量测提起都不断不断进步,要用把控长宽尽寸,程度大概性,亚微米级粗拙度、立体描摹等最终目标。

以粗拙度工作目标试对,真空镀膜技艺后的Cu 凸点表面粗拙多形式共存在偶然性的的高度差,因此键合前要对其表面停机平展化应对,如物理化学蘑菇视频 打磨抛光(CMP),能让键应时Cu 表面要能可能充分战斗,完全氧分子不集中,从而得知把控Bump表面粗拙度是必难以缺的进度。

是为了符合方法工艺,及时遥相呼应客服Bump 计算须得,中图蘑菇视频 以高计算精度、多副作用合几等上风将自研量测武器融进浩繁优秀半导体技术客服。BOKI_1000标准体系撑持键合、减薄、翘曲和打孔器后的的基板,还可以为含有打孔器后、预键合、铜焊盘图纹化、铜柱、凸块(Bump)、硅通孔(TSV)和再散播谣言层(RDL)少部分的优势特点总需求优秀的量测才华。

 
   

(以下为量测Bump时的立即图像)

上一篇:布局深、角度大、反射差?用共焦,就对啦!
下一篇:飞拍丈量|Novator系列影象仪大幅晋升半导体模具丈量效力