SuperView WT3000系列白光干与共聚焦外表仪是一款用于对各类紧密器件及材料外表停止亚纳米级丈量的检测蘑菇视频 。它集成了白光干与仪和共聚焦显微镜两种高精度3D丈量蘑菇视频 的机能特色于一身，可以或许对器件外表停止非打仗式扫描并成立外表3D图象。当丈量超滑腻和通明的外表描摹时，可以利用白光干与情势取得高精度无失真的图象并停止粗拙度等参数的阐发；当丈量有锋利角度的粗拙外表特点时，利用共聚焦显微镜情势完成大角度的3D描摹图象重构，经由进程体系软件对器件外表3D图象停止数据处置与阐发，并取得反应器件外表品质的2D、3D参数，从而完成器件外表描摹3D丈量的光学检测蘑菇视频 。
SuperView WT3000系列白光干与共聚焦外表仪可普遍利用于半导体制作及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其紧密配件、光学加工、微纳材料及制作、汽车零部件、MEMS器件等超紧密加工行业及航空航天、国防兵工、科研院所等范畴中。可测各类从超滑腻到粗拙、低反射率到高反射率的物体外表，从纳米到微米级别工件的粗拙度、平坦度、微观多少外表、曲率等，供给按照ISO/ASME/EUR/GBT四大国际外规范总计300余种2D、3D参数作为评估规范。
1) 样件丈量才能：白光干与情势可在单一扫描情势下完成从超滑腻到粗拙、镜面到全通明或玄色材质等一切范例样件外表的丈量，可丈量0.1nm及以下的粗拙度和纳米级的台阶高度；共聚焦情势尖具有锐角度丈量才能，可丈量倾角靠近90°的微观描摹。
2) 单地区主动丈量：单片立体样品或批量样品切换丈量点位时，可一键完成主动对焦、扫描等功效。
3) 多地区主动丈量：可设置方形或圆形的阵列情势的多地区丈量点位，一键完成主动条纹搜刮、扫描等功效。
4) 主动拼接丈量；撑持方形、圆形、环形和螺旋情势的主动拼接丈量功效，共同影象导航功效，可自界说丈量地区，撑持数千张图象的无缝拼接丈量。
5) 编程丈量功效：撑持丈量和阐发同界面支配的软件模块，可事后设置装备摆设数据处置和阐发步骤，连系主动单丈量功效，完成一键丈量。
6) 数据处置功效：供给地位调剂、去噪、滤波、提取四大模块的数据处置功效。
7) 数据阐发功效：供给粗拙度阐发、多少外表阐发、布局阐发、频次阐发、功效阐发等五大阐发功效。
8) 批量阐发功效：可按照须要参数定制数据处置和阐发模板，针对同范例参数完成一键批量阐发。
9) 数据报表导出：撑持word、excel、pdf格局的数据报表导出功效，撑持图象、数值成果的导出。
10) 毛病排查功效：白光干与情势中，设置装备摆设诊断模块，可保管扫描进程中的干与条纹图象；
11) 便利支配功效：装备装备支配杆，撑持支配杆停止一切地位轴的支配及速率调理、光源亮度调理、急停等。
12) 环境噪声评估：具有0.1nm分辩率的环境噪声评估功效，定量检测出蘑菇视频 遭到外界环境搅扰的噪声振幅和频次，为装备调试和毛病排查供给定量按照。
13) 气浮隔振功效：接纳气浮式隔振底座，可有用断绝空中传导的振动噪声，确保丈量数据的高精度。
14) 光源宁静功效：光源设置无人值守下的主动熄灯功效，当检测到鼠标轨迹永劫间未变化后会自立下降燃烧光源，避免光源高亮过热破坏，并有用耽误光源利用寿命。
15) 镜头宁静功效：两重防撞掩护，软件ZSTOP防撞掩护，设置后即以以后地位为位移上限位，不再下移且伴有报警声；装备装备压力传感器，并在镜头处停止了弹簧布局设想，确保当镜头碰撞后弹性回缩，进入急停状况，大幅减小碰撞打击力，有用掩护镜头和扫描轴，消弭报酬支配的宁静危险。
对各大蘑菇视频、组件和原材料的内心的立体化度、粗拙度、波澜度、面形的内心、的内心弱点、损耗的生态环境、溶蚀的生态环境、孔洞缝隙、楼梯高速、手工加工的生态环境等的内心描摹特征 中断侧量和阐发。
| 半导体芯片拍摄（减薄粗拙度、镭射槽道外形） | 光电元电子元器 曲率&外型尺寸&粗拙度 |
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| （超紧密配合）制造.本身尺寸图&立场 | 看上去项目 （摩擦学）.外看上去积&量 |
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| 3C智能（玻璃纸屏） 粗拙度 | 光学元件膜片文件微观粒子功能分区 |
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打开报表内图片搜索或宿墨查到看按照上报数据报告
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