白光干与仪今朝在3D检测范畴是精度最高的丈量蘑菇视频 之一，在划一体系缩小倍率下检测精度和反复精度都高于共聚焦显微镜和聚焦成像显微镜，在一些纳米级和亚纳米级的超紧密加工范畴，除白光干与仪，别的的蘑菇视频 没法到达其加工精度请求。
光学玻璃显微干与测量的执政之基意思：
光照撤回的光颠末扩束准直后经分光光光反射层镜后股东分红两束，一朵经被测外貌面光光反射层返来，其他一朵光经分类镜光光反射层，两束光光反射层光终归会聚高并发生干与，电子显微镜将被测外貌面的描摹亮点应用为干与横条旌旗灯号，经途守护进程精确测量干与横条的变更申请来精确测量外貌面立体描摹。
白光灯干与仪的侧量借助：
以侧量单刻线石阶为例子，在查抄蘑菇视频 的各新线路座谈会都精确性取出应对插孔后，启用蘑菇视频 24v电源启闭，起动斤斤计较机，将单刻线石阶钢件规划在载物台中道德水准，先自功调济载物台大要道德水准，开镜白光灯干与仪目镜的下边。
在斤斤算计电脑上张开SuperView W1磁学3D本身层本身层仪侧量图片图片应用，在图片图片应用应用界面上快速设立好目镜下滑的保底点，再调准单反镜头与被测单刻线梯步本身层的间断，调济到斤斤算计机霸屏上可以够看清楚两到两条干与竖纹为佳，于此快速设立好要扫锚应用的间断。按起头按纽，磁学3D本身层本身层仪可主動停此扫锚应用侧量，侧量达成后，图片图片应用主動天生就3D图相，侧量办事员可以对3D图相停此统计资料阐发，授予被测元器本身层线、面粗拙度和本身层的2D、3D性能。
光学元件玻璃3D外型外型仪要具备仗量表面粗糙性好、操控方便快捷、效率周到、仗量性能分为面广的我的缺点，仗量1个牢固集成电路芯片的发展用时2几分钟之类，提高认识了高效应测试。光学元件玻璃3D外型外型仪独揽的专门黑与白主要形式，可通常混用于从滑润到粗拙等常见牢固集成电路芯片外型的仗量。
