罗纹综合丈量机接纳打仗式扫描道理，罗纹中径的丈量不肯定度要到达（2.5+L/200）um，一台布局比拟庞杂的紧密丈量蘑菇视频
，是若何到达这一丈量精度的呢？其主要手艺之一，便是经由过程T型高紧密气浮轴承体系驱动测针与被测罗纹停止打仗扫描（T型气浮导轨活动平台包罗垂直轴Z和程度轴X气浮导轨体系），这是完成罗纹轴向外表切确扫描的根本。
气浮导轨什物
罗纹综合丈量机接纳无磨损、超低磨擦力的高精度T型气浮导轨体系，保障体系不变、靠得住地任务。立异设想的气浮轴承正负压节制体系，自立研发的超紧密花岗岩导轨加工、气浮轴承加工工艺，为气浮轴承体系供给很是高的气膜刚性，导轨无磨损、超低磨擦力，完成了丈量体系的反复定位精度高、利用寿命长、不变性好等特色。
正交的（X轴和Z轴）气浮体系表示图
高精度气浮体系可到达以下丈量精度：
- 行走线性精度1um；
- 反复定位精度0.3um；
中图罗纹综合丈量机与入口蘑菇视频
导轨体系的区分
