高紧密直驱平台普遍利用于半导体晶圆检测、微电子组件测试取放、DNA测序、激光加工等范畴，定位精度请求高，线性位移100mm路程规模内定位偏差请求≤1μm。人类头发直径约70μm，便是要比人类头发直径的70分之1还要小，如斯高定位精度的平台丈量和校准通俗检测装备底子没法做到。
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SJ6000激光干与仪为客户直驱平台定位精度的丈量和考证供给了杰出的处置计划，精度到达纳米级，在不变的尝试前提下知足了客户丈量和校准的请求，进步了客户产物的品质和检测效力，获得了不错的市场反应。
丈量时，按照直驱平台挪动形式设定好SJ6000软件收罗设置。丈量时及时显现丈量偏差，完成后立即天生丈量报告。报告显现装备的定位精度在100nm内，反向差值在40nm内。
SJ6000激光干与仪接纳美国入口高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频手艺、高精度情况弥补模块、多少参量干与光路设想、高精度激光干与旌旗灯号处置体系、高机能计较机节制体系手艺，完成各类参数的高精度丈量。
