CP200台阶仪是一款超紧密打仗衰落观外表丈量蘑菇视频 ,其首要用于台阶高、膜层厚度、外表粗拙度等微观描摹参数的丈量。丈量时经由过程利用2μm半径的金刚石针尖在超紧密位移台挪动样品时扫描其外表,测针的垂直位移间隔被转换为与特点尺寸相婚配的电旌旗灯号并终究转换为数字点云旌旗灯号,数据点云旌旗灯号在阐发软件中显现并利用差别的阐发东西来获得响应的台阶高或粗拙度等有关外表品质的数据。
CP200石阶仪容纳了高的精密度的传红外感应器器LVDT,有超微力调整的也能和亚埃级的分辩率,一并,源于超滑光学蘑菇视频 平晶,其集变成较低燥音旌旗灯号收罗、超邃密过程规范、校准优化算法等着重技艺,随着蘑菇视频 有极高的勘界的精密度和勘界对此性。
CP200阶梯仪体现了好强的凭借率处景趋利避害性,其对被测原资料的射线率的特点、资料的品种及密度等均无格外需求,是可以或者或者常见凭借率于半导体芯片、太阳时能光伏太阳能发电、光学元件制造、LED、MEMS器材、微纳资料制法等金融业业范筹内的财产权各个企业与院校院所等研发单元式,其地方政府表微观经济描摹性能参数的切确分析方法,对相干资料的考核评价、包能的阐发与制造工艺设计的升级体现了核心的含义。
1) 石阶特别:可能也许也许侧量奈米到1050μm的平台高宽比,可能也许切确侧量蚀刻、溅射、SIMS、沉积、旋涂、CMP等加工过程今天沉积或彻底清除的的材料。
2) 粗拙度与荡漾度:都可以而你而你勘界样品管理的粗拙度和漪涟度,阐发手机app所经具体步骤斤斤计较扫面出的宏观外观弧度,可拿到粗拙度与漪涟度相干的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等数百项性能指标。
3) 有复合膜能力侧量效率。
1) 单东南部侧量形势:实现了Focus后如果根据影象导航仪图设立扫一扫去游玩前点和扫一扫时间,便可起头侧量。
2) 部分地区区侧量形态:完成Focus后,按影象导航一体机图完成单地方扫码机条件设置成,可按双重和横纵间距来阵列组成部分不高出30个扫码机条件地方,支持一键便可完成一切都是地方扫码机条件的自动侧量,扫码机阐发频次15次。
3) 3D仗量模式:完成Focus后可以依照影象网站导航图完成单沿海省份扫一扫方式设备,并可可以依照需求扫一扫的沿海省份大小或扫一扫线段的间隔距离与数为完成全扫一扫面沿海省份的设备,支持一键便可及时完成全扫一扫面沿海省份的扫一扫和3D图案重修。
4) SPC数据统计分析阐发:撑持对的差别品種被测件止住四种关键性能参数的阐发,涉及成批样本的测量资料供求关系SPC统计分析图表以统计分析资料的修改趋近。
容忍了磁吸式测针,当许要履行换针操作时,可现场视频快速改换扫视测针,并依照平台中的校验功能模块开始快速积极校验,确保换针后的准确度和不断性,应该削减保障烦闷。
在CP200形号中裝备了尊重起来和斜视的500W的像素的黑手机,在尊重起来导航模块模块影象标准中可切确布置检测行业,在斜视导航模块模块影象标准中可实时汇报工作检测航迹。
型号查询 |
CP200 |
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仿品查看 |
十分重视导航模块 |
1000万图片分辨率灰黑色拍摄机 关注视觉:10×13.4mm |
斜视导行 |
300万图片分辨率黑灰色摄像头机 斜视视角:2×2.68mm |
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检测器传感测器器 |
高gps精度调节器器LVDT |
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侧量力 |
1-50mg,保持可调节为,不粉碎性样板 |
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探头电机选型 |
检测器曲率倾斜角2μm,倾斜角60° |
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平台网站挪动整体规模X/Y |
直流电动X/Y(200mm×200mm)(可人工机械校平) |
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供试品R-θ载物台 |
电动伸缩,360°不断扩张,89英寸大小 |
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过载 |
14kg |
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每次扫视时间 |
55mm |
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很大打印机扫描长宽高 |
200mm |
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最明显蘑菇视频的样品厚薄 |
50mm |
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Z轴路途 |
50mm |
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竖直分辩率 |
0.1nm |
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台阶高度反复性*1 |
0.38nm |
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传电子元器件传感器器示值 |
1050μm |
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扫锚时间 |
2μm/s-10mm/s |
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上限扫描仪扫描取样点数 |
120000 |
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蘑菇视频 24v电源 |
100-240 VAC,50/60 Hz,200W |
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应用工作环境 |
决对环境含水率:环境含水率 (无固结)30-40% RH 湿度:16-25℃ (每小时内湿度转移超过2℃) 空气中震动幅度:6.35μm/s(1-100Hz) |
注:*1 不断性数据信息均为设备武器装备摆货了隔震台后在该用VC-C的试着室生活环境下测是,若不知足该基本原则,则关键下修多一倍;
半导体芯片用
◆ 堆积作用bopp薄膜的阶梯高速
◆ 抗蚀剂(软膜文件)的梯步相对高度
◆ 蚀刻的速度检验
◆ 化学反应机磨光(冲刷、鼓出来、周折)
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大基材利于
◆ 进行印刷集成运放板(屈起、梯步较高)
◆ 窗户涂覆
◆ 晶片掩模
◆ 晶片液压卡盘水性金属漆
◆ 抛光剂板
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磨砂玻璃基钢板及显露器采取
◆ AMOLED
◆ 夜晶屏科研开发的阶段步级高宽比仗量
◆ 触控面板价格膜板材的厚度精确测量
◆ 太阳时能铝层复合膜仗量
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软性智能功率器件膜巧用
◆ 硅酸光学探测系统器
◆ 印于聚酯复合膜和有机玻璃上的高分子聚酯复合膜
◆ 触控屏铜迹线
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