激光干与丈量手艺具备活络度高、量程大及可顺应卑劣情况等长处，光波能够间接对米停止界说且轻易溯源。中图蘑菇视频 自研的PLR3000系列光纤干与尺基于激光干与丈量道理，是一种高紧密度、高活络度、高效疾速的进步前辈地位检测装备，在非打仗高精度丈量范畴具备别的丈量方式无可比拟的上风，比拟传统钢带尺或玻璃光栅，具备加倍切确的栅距和更高的分辩率，同时其热源断绝设想，保障了更高的不变性，同时具备装配疾速，易于准直等特点，在微电子、微机械、微光学等古代超紧密加工制作、光刻手艺和航空航天等高科技范畴普遍利用。
光纤激光尺构成
光纤激光尺由激光发射装配、干与丈量探头、反射镜等局部构成。
1.激光行业导弹加装
激光发射装配内置高不变度氦氖激光光源，稳频精度0.05ppm（可选0.02ppm）。经由过程铠装光纤将激光传导至干与丈量探头，完成热源与丈量探头断绝。激光发射装配内置高精度旌旗灯号处置体系，可间接输出用户可设置装备摆设分辩率的及时RS422数字正交旌旗灯号和正交摹拟旌旗灯号，还可经由过程USB-SDK停止二次开辟。
2.干与仗量温度探头
2.1.差分干与（DI）探头
差分干与探头输出两束激光（参考光和丈量光），别离颠末牢固立体反射镜和挪动立体反射镜反射，完成光学四倍频，具备更高的体系分辩率和更小的非线性偏差。出格合用于丈量Z轴立柱与活动平台之间的绝对活动，消弭因内壁热漂移和立柱振动/挪动而发生的偏差，是纳米级精度计划首选。
2.2.立体镜干与（PI）探头
立体镜干与探头接纳双光程干与体系，共同立体反射镜，完成光学四倍频，具备更高的体系分辩率，利用双轴体系，搭配长条立体反射镜，出格合适XY平台活动节制及丈量利用。供给0°、90°两种出光设置装备摆设。
2.3.角锥棱镜干与（RI）探头
角锥棱镜干与探头，装配便利，精度高，合用于单轴线性丈量或地位反应，丈量间隔达10米，可定制40米，在活动定位和装备校准上利用普遍。供给0°、90°两种出光设置装备摆设。
光纤线智能机械尺厨艺优点
1.高精度丈量：线性丈量精度可达0.5ppm；
2.高激光稳频精度：激光频次不变度达0.05ppm（可选配0.02ppm）
3.高分辩率：固有分辩率最高达10nm，可设置装备摆设差别分辩率，可进一步拓展细分，完成更高分辩率。
4.高速丈量：最大丈量速率可达2000mm/s以上；
5.量程长：丈量量程能够到达4m以上，可定制40米；
6.装配简洁，易于准直：体积玲珑，装配矫捷，可大幅下降阿贝偏差；干与探头设置装备摆设有角度调理装配，轻松完成光束准直；
7.丈量光路热源断绝：激光发射装配与丈量探头分手，探头无热源，可防止主机散热对丈量通路的影响；
8.多通道输出：最多可同时毗连三路探头，轻松完成多轴同时丈量及多自在度丈量；
9.输出接口多样：主机输出接口包罗USB接口和地位输出接口，地位输出接口有差分TTL(RS-422/EIA-422)、正余弦旌旗灯号(SinCos1Vpp) 、USB-SDK。
光纤传输缴光尺利于考察
PLR3000 系列光纤激光尺已在多个客户端停止精度考证：用差分干与（DI）探头对高精度纳米位移台停止闭环节制，在10mm路程内肆意地位完成纳米级地位节制精度。
